碳化硅材料具有硬度大、耐磨損、彈性模量高等特性,目前,國內(nèi)碳化硅冶煉及粉體主要用于耐火材料、磨料磨具、精細(xì)陶瓷的SiC粉體等。
研磨盤主要應(yīng)用于高速研磨和拋光的工程中,像半導(dǎo)體行業(yè)和光伏產(chǎn)業(yè),主要應(yīng)用于大規(guī)模集成電路硅基片和光伏產(chǎn)業(yè)中硅片的拋光。以前生產(chǎn)中使用量比較多的是鑄鐵或鋼研磨盤,但鑄鐵或碳鋼材料,其使用壽命短、熱膨脹系數(shù)大,隨著碳化硅陶瓷耐磨材料的發(fā)展和和燒結(jié)工藝的開發(fā),鑄鐵和鋼研磨盤逐漸被碳化硅研磨盤所代替。
碳化硅研磨盤和鑄鐵或鋼研磨盤相比,熱膨脹系數(shù)小、強(qiáng)度大、硬度高、使用壽命長、成本低,且熱膨脹系數(shù)與硅晶片基本相同,在高速的研磨和拋光過程中,可以保證硅片的加工精度。
近年來,光伏行業(yè)中硅片的尺寸越來越大,對研磨盤的質(zhì)量和研磨效率要求越來越高。利用碳化硅研磨盤可以解決研磨和拋光的高要求,提高研磨質(zhì)量和效率。碳化硅具有一系列優(yōu)良性能,并且價(jià)格低廉,碳化硅陶瓷所具備的這些優(yōu)良性能使其可以應(yīng)用在金屬耐磨材料或高分子耐磨材料不能勝任的場所,在耐磨領(lǐng)域中展示著重要的應(yīng)用前景。